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5月9日消息,中微公司宣布推出自主研发12英寸低压化学气相沉积(LPCVD)设备Preforma Uniflex CW,在保证较低的生产成本和化学品消耗的同时,实现更高的生产效率,预计新产品将有助于公司业务多元化增长。
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